中小微企业或创业（创客）团队登录“山东省大型科学仪器设备协作共用网”在线提交创新券申请，上传服务合同、发票、检测报告、付款证明、创新说明报告等材料——区、市科技局审核上个月的创新券申请，向省科技厅提交兑付申请表——省科技厅每月底前兑付创新券。